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真空鍍膜腔體的檢漏是必不可少的,真空鍍膜機檢漏是指在鍍膜機內部的真空下降到一定程度的時候,如0.5 mbar以下的時候,拿氦氣噴在懷疑有漏的地方，或者檢查標準保養時動到的部位。這時需要有人觀察檢漏儀的漏率指示值的變化.當漏率上升或漏率值變化劇烈的時候,及時指出漏點所在位置,并做記號.