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真空腔體是保持內部為真空狀態的容器,真空腔體的制作要考慮容積、材質和形狀。

不銹鋼是目前超 高真空系統的主要結構材料。其中300系列不銹鋼(表1)是含Cr10%～20%的低碳鋼,具有良好的抗腐蝕性、放氣率低、無磁性、焊接性好、導電率和導熱率低、能夠在-270～900℃工作等,在高真空和超 高真空系統中,應用較廣。